課程資訊
課程名稱
電子特用化學品實驗
Experiment of Specialty Chemicals for Electronics 
開課學期
100-1 
授課對象
工學院  化學工程學系  
授課教師
陳文章 
課號
ChemE5029 
課程識別碼
524 U1700 
班次
 
學分
全/半年
半年 
必/選修
選修 
上課時間
星期二6,7,8(13:20~16:20) 
上課地點
新201 
備註
總人數上限:20人 
Ceiba 課程網頁
http://ceiba.ntu.edu.tw/1001ESCE 
課程簡介影片
 
核心能力關聯
核心能力與課程規劃關聯圖
課程大綱
為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
課程概述

1.基礎半導體概論

2.元件
(a)雙載子電晶體(Bipolar Junction Transistor)
(b)金屬氧化半導體電晶體 (Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor, MOS)
(c)互補式金氧半導體(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor, CMOS)
(d)雙載子互補式金氧半導體(bipolar Complementary Metal-Oxide Semiconductor, BiMOS)

3.元件的應用
(a)邏輯電路(Combinational logic)
(b)記憶體(Memory)

4.半導體製程材料及化學品
(a)潔淨技術用高純度化學品(Clean technology with high-purity chemicals)
(b)微影技術用材料與化學品(Lithography materials and chemicals)
(c)蝕刻技術用高純度化學品(Etching technology with high-purity chemicals)
(d)化學氣相沉積製程用材料及化學品(Chemical vapor deposition process materials and chemicals)
(e)平坦化技術用材料及化學品(Planarization technology materials and chemicals)

5.實驗
(a)場效電晶體(Field-effect transistors)
(b)記憶體(Memory devices)
 

課程目標
培養學生對特用化學品應用於電子工業之基礎學理及實驗應用 
課程要求
物理化學, 材料科學 
預期每週課後學習時數
 
Office Hours
 
指定閱讀
莊達人,VLSI製造技術,2004 
參考書目
(1) 莊達人,VLSI製造技術,2004
(2) 陳文章,馮明憲,段定夫,積體電路製程及設備技術手冊,Chapter 4,1997
(3)半導體元件物理學,施敏、伍國王玉,2008
 
評量方式
(僅供參考)
   
課程進度
週次
日期
單元主題
第2週
9/20  基礎半導體介紹 
第3週
9/27  材料電性量測:導體,半導體,絕緣體
(使用儀器:四點探針,吸收光譜儀) 
第4週
10/04  半導體元件介紹 
第5週
10/11  薄膜電晶體(TFT),太陽能電池(PV),記憶體元件(memory)物性以及實驗分析示範 
第6週
10/18  半導體製程化學品(I) 和薄膜電晶體(TFT),太陽能電池(PV),記憶體元件(memory)物性以及實驗分析 
第7週
10/25  半導體製程化學品(II) 
第8週
11/01  元件製作及物性分析(I) 
第9週
11/08  元件(I)口頭及書面報告 
第10週
11/15  停課 
第11週
11/22  元件製作及物性分析(II) 
第12週
11/29  元件(II)口頭及書面報告 
第13週
12/06  元件製作及物性分析(III) 
第14週
12/13  元件(III)口頭及書面報告 
第15週
12/20  元件最適化(I~III選擇其中一項) 
第16週
12/27  元件(IV)口頭及書面報告 
第17週
1/03  期末考試